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2023國家企業技術中心
2021國家高新技術企業
2021第四屆集成電路產業技術創新獎
2020遼寧省科學技術獎勵證書
2017中國半導體設備五強企業
2017遼寧省科學技術獎勵證書
2016中國半導體設備五強企業
2016第十一屆半導體創新產品和技術
2020沈陽市民營企業科技創新100強
2019第二屆集成電路產業技術創新獎
（12英寸PECVD）
2018沈陽市民營企業科技創新百強
第十九屆中國專利優秀獎
2017中國專利優秀獎
2015沈陽市專利獎
2015科學進步二等獎
2011科學技術獎勵證書
知識產權管理體系認證證書
ISO 45001 2018
ISO 9001 2015
ISO 14001 2015
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